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主要技術(shù)指標(biāo)如下：（1）測(cè)量范圍：0~±30μm和0~±500μm; （2）指示誤差：0~土壤30μm為0.1μm，0~±500μm為1μm; 3）分辨率：0~±30μm為0.01μm，0~±m(xù)為0.1μm。

（4）極性：當(dāng)測(cè)量值為負(fù)時(shí)，自動(dòng)顯示“ - ”;當(dāng)它為正時(shí)，沒(méi)有極性符號(hào)。

電感測(cè)微儀可用于檢測(cè)工件厚度，內(nèi)徑，外徑，橢圓度，平行度，直線度，徑向跳動(dòng)等，廣泛應(yīng)用于精密機(jī)械制造，晶體管和集成電路制造，以及國(guó)防，科研，計(jì)量部門(mén)的精密長(zhǎng)度測(cè)量。

電感式千分尺的硬件電路主要包括電感式傳感器，正弦波振蕩器，放大器，相敏檢測(cè)器和單片機(jī)系統(tǒng)。

正弦波振蕩器為電感式傳感器和相敏檢測(cè)器提供頻率和幅度穩(wěn)定的激勵(lì)電壓。

從正弦波振蕩器輸出的信號(hào)被施加到由線圈和測(cè)量頭中的電位計(jì)形成的電感器橋。

工件的微小位移驅(qū)動(dòng)兩個(gè)線圈的電樞運(yùn)動(dòng)通過(guò)電感傳感器的探頭，使得兩個(gè)線圈中的電感相對(duì)變化。

當(dāng)電樞位于兩個(gè)線圈的中間時(shí)，兩個(gè)線圈的電感相等并且電橋平衡。

當(dāng)探頭上下移動(dòng)電樞時(shí)，如果上線圈的電感增加，則下線圈的電感減小;如果上線圈的電感減小，則下線圈的電感增加。

交流阻抗相應(yīng)地改變，并且電橋失去平衡并輸出調(diào)制信號(hào)，其幅度與位移成比例，頻率與振蕩器頻率相同，并且相位對(duì)應(yīng)于位移的方向。

信號(hào)被放大，相敏檢測(cè)器識(shí)別極性，得到與電樞位移對(duì)應(yīng)的直流電壓信號(hào)，通過(guò)A / D轉(zhuǎn)換器輸入到單片機(jī)，并進(jìn)行數(shù)據(jù)處理顯示，傳輸，超差報(bào)警和統(tǒng)計(jì)。

分析等。